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Jauge à vide capacitif à jauge à diaphragme HPM18V 4-20mA

État de disponibilité:
Quantité:
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HPM18V est une jauge à vide capacitive, également appelée jauge à film capacitif (CDG).Ce produit utilise un capteur capacitif en céramique comme élément sensible et utilise une connexion sous vide pour mesurer directement la pression.Ses signaux de sortie analogiques tels que 0-5 ou 0-10VDC sont proportionnels à la pression mesurée et ne sont pas affectés par le type et la composition du gaz de procédé.La céramique a les caractéristiques d'une élasticité élevée, d'une résistance à l'usure, d'une résistance à la corrosion et d'une dissipation thermique rapide, ce qui confère à la jauge à vide une très bonne stabilité thermique et une dérive de température extrêmement faible.



Application

  • Application sous vide

  • Laboratoire et recherche et développement

  • Industrie des semi-conducteurs

  • Emballage sous vide

  • Équipement de processus de gravure au plasma


Caractéristiques


  • Principe du film condensateur
  • Haute précision et bonne stabilité
  • Possède une excellente capacité anti-surcharge
  • La détection n'est pas affectée par le type et la composition du gaz
  • Réponse rapide et petite hystérésis
  • Mesure directe de la pression, le signal de sortie analogique est proportionnel à la pression mesurée
  • Prend en charge diverses interfaces de pression KF, CF, VCR, etc. dans l'industrie du vide


Paramètres techniques

Milieu de mesure

Divers gaz compatibles avec les matériaux de contact

Plage de pression

0~2Torr…1000Torr

Précision

±0,1%FS,±0,25%FS,±0,5%FS (sous réserve de la plage de mesure)

Température de fonctionnement

-40 ~ 85 ℃

Tension d'alimentation

10 ~ 30 V CC

8,5 ~ 30 VCC

12 ~ 30 V CC

10 ~ 30 V CC

(sous réserve de sortie)

Signal de sortie

4 ~ 20 mADC, tension, RS485


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