Mesure du système de vide du transmetteur de pression absolue KF16
HPM10V est une jauge à vide piézorésistive. Il utilise un capteur piézorésistance en silicium comme élément sensible et mesure directement la pression à l'aide d'une connexion à vide. Ses signaux de sortie analogique tels que 0-5 ou 0-10 VDC sont proportionnels à la pression mesurés et ne sont pas affectés par le type et la composition du gaz de processus. La puce de silicium diffuse à l'intérieur du capteur est encapsulée par un diaphragme et une cavité en acier inoxydable et une cavité. Une carte de circuit imprimé spécialement développée assure des performances stables et fiables et une apparence compacte. La jauge sous vide piézorésistive HPM10V a une précision de mesure élevée et une excellente stabilité à long terme. Le capteur piézorésistif de silicium de haute qualité interne est compensé par la température et a une large plage de température de fonctionnement. La jauge à vide est petite de taille globale, facile à utiliser et fiable, et convient à une faible mesure de précision du vide des compositions de gaz complexes.
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Aperçu
Le transmetteur de pression absolue HPM10V KF16 est un vacuomètre piézorésistif économique conçu pour les mesures de précision à faible vide dans les systèmes de gaz industriels. Construit avec un capteur piézorésistif en silicium comme élément sensible central, cet appareil adopte une détection directe de la pression via une connexion sous vide KF16 , délivrant des signaux de sortie analogiques (0-5 VCC/0-10 VCC/4-20 mA) qui maintiennent une stricte proportionnalité avec la pression mesurée, sans être affecté par le type ou la composition des gaz de procédé . Sa puce interne en silicium diffusé est hermétiquement encapsulée dans un diaphragme et une cavité en acier inoxydable 316L , associés à un circuit imprimé dédié personnalisé pour une compacité, des performances stables et une fiabilité à long terme. Le HPM10V dispose d'une compensation de température calibrée en usine, d'une large plage de températures de fonctionnement (-40 ~ 100 ℃) et d'un indice de protection IP65, ce qui en fait une solution robuste pour les utilisateurs industriels nécessitant une mesure précise du vide dans des environnements gazeux complexes. Avec des plages de pression absolue nominale de 0,2 kPa à 100 kPa (2 mbar à 1 000 mbar) et une capacité de surcharge jusqu'à 1 000 kPa, il équilibre précision et durabilité pour un fonctionnement industriel continu.
Avantages clés
Détection indépendante du gaz : les mesures restent précises quel que soit le type/composition du gaz de procédé, éliminant les ajustements d'étalonnage pour les changements de gaz et réduisant les temps d'arrêt opérationnels pour les installations industrielles.
Précision de mesure supérieure : offre une précision typique de ±0,25 %FS (±0,1 %FS en option pour P≥35kPaA), conforme aux normes CEI 60770 en matière de non-linéarité, d'hystérésis et de répétabilité, essentielles pour les processus sous vide de haute précision.
Stabilité exceptionnelle à long terme : offre une stabilité de ±0,30 %FS/an pour des pressions ≤35kPa et ±0,20%FS/an pour >35kPa, minimisant ainsi les besoins de réétalonnage et réduisant les coûts de maintenance pour les gestionnaires d'installations industrielles.
Conception industrielle robuste : construction en acier inoxydable 316L, large tolérance de température et protection IP65 garantissent des performances fiables dans les environnements industriels difficiles, y compris les environnements à haute température et poussiéreux.
Réponse rapide et faible hystérésis : permet une surveillance de la pression en temps réel pour les processus dynamiques sous vide, tels que la gravure au plasma et le conditionnement sous vide, améliorant ainsi l'efficacité du contrôle des processus.
Applications industrielles du transmetteur de pression industriel
Cette jauge à vide piézorésistive est conçue pour les utilisateurs industriels des secteurs dépendants du vide, avec des applications principales telles que :
Fabrication de semi-conducteurs : critique pour les équipements de processus de gravure au plasma, où un contrôle précis du faible vide garantit la qualité et le rendement du traitement des plaquettes.
Industrie de l'emballage sous vide : permet une surveillance précise de la pression pour le scellage sous vide des aliments, des appareils électroniques et des dispositifs médicaux, préservant ainsi l'intégrité et la durée de conservation du produit.
Installations de laboratoire et de R&D : idéales pour la recherche sur le vide et les installations expérimentales, soutenant la recherche universitaire et industrielle sur la dynamique des gaz et la science des matériaux.
Applications générales du vide industriel : Convient aux fours sous vide, aux équipements de revêtement sous vide et à d'autres systèmes industriels à faible vide nécessitant une mesure de pression constante.
Tests de composants aérospatiaux et automobiles : fournit des données de vide fiables pour les tests de performances des composants dans des conditions de basse pression, garantissant ainsi la conformité des produits aux normes industrielles.
FAQ
Le HPM10V peut-il être utilisé avec des gaz industriels corrosifs ?
Oui, il est compatible avec divers gaz compatibles avec l'acier inoxydable 316L , le matériau de contact. Pour les gaz hautement corrosifs, des options de matériaux personnalisés sont disponibles sur demande pour les utilisateurs industriels ayant des besoins spécialisés.
Quelles interfaces de vide le HPM10V prend-il en charge en plus du KF16 ?
En plus de la connexion standard KF16 , il prend en charge les interfaces CF, VCR et autres interfaces standard de l'industrie du vide, avec des options d'interface personnalisées disponibles pour répondre aux exigences spécifiques des équipements industriels.
Aperçu
Le transmetteur de pression absolue HPM10V KF16 est un vacuomètre piézorésistif économique conçu pour les mesures de précision à faible vide dans les systèmes de gaz industriels. Construit avec un capteur piézorésistif en silicium comme élément sensible central, cet appareil adopte une détection directe de la pression via une connexion sous vide KF16 , délivrant des signaux de sortie analogiques (0-5 VCC/0-10 VCC/4-20 mA) qui maintiennent une stricte proportionnalité avec la pression mesurée, sans être affecté par le type ou la composition des gaz de procédé . Sa puce interne en silicium diffusé est hermétiquement encapsulée dans un diaphragme et une cavité en acier inoxydable 316L , associés à un circuit imprimé dédié personnalisé pour une compacité, des performances stables et une fiabilité à long terme. Le HPM10V dispose d'une compensation de température calibrée en usine, d'une large plage de températures de fonctionnement (-40 ~ 100 ℃) et d'un indice de protection IP65, ce qui en fait une solution robuste pour les utilisateurs industriels nécessitant une mesure précise du vide dans des environnements gazeux complexes. Avec des plages de pression absolue nominale de 0,2 kPa à 100 kPa (2 mbar à 1 000 mbar) et une capacité de surcharge jusqu'à 1 000 kPa, il équilibre précision et durabilité pour un fonctionnement industriel continu.
Avantages clés
Détection indépendante du gaz : les mesures restent précises quel que soit le type/composition du gaz de procédé, éliminant les ajustements d'étalonnage pour les changements de gaz et réduisant les temps d'arrêt opérationnels pour les installations industrielles.
Précision de mesure supérieure : offre une précision typique de ±0,25 %FS (±0,1 %FS en option pour P≥35kPaA), conforme aux normes CEI 60770 en matière de non-linéarité, d'hystérésis et de répétabilité, essentielles pour les processus sous vide de haute précision.
Stabilité exceptionnelle à long terme : offre une stabilité de ±0,30 %FS/an pour des pressions ≤35kPa et ±0,20%FS/an pour >35kPa, minimisant ainsi les besoins de réétalonnage et réduisant les coûts de maintenance pour les gestionnaires d'installations industrielles.
Conception industrielle robuste : construction en acier inoxydable 316L, large tolérance de température et protection IP65 garantissent des performances fiables dans les environnements industriels difficiles, y compris les environnements à haute température et poussiéreux.
Réponse rapide et faible hystérésis : permet une surveillance de la pression en temps réel pour les processus dynamiques sous vide, tels que la gravure au plasma et le conditionnement sous vide, améliorant ainsi l'efficacité du contrôle des processus.
Applications industrielles du transmetteur de pression industriel
Cette jauge à vide piézorésistive est conçue pour les utilisateurs industriels des secteurs dépendants du vide, avec des applications principales telles que :
Fabrication de semi-conducteurs : critique pour les équipements de processus de gravure au plasma, où un contrôle précis du faible vide garantit la qualité et le rendement du traitement des plaquettes.
Industrie de l'emballage sous vide : permet une surveillance précise de la pression pour le scellage sous vide des aliments, des appareils électroniques et des dispositifs médicaux, préservant ainsi l'intégrité et la durée de conservation du produit.
Installations de laboratoire et de R&D : idéales pour la recherche sur le vide et les installations expérimentales, soutenant la recherche universitaire et industrielle sur la dynamique des gaz et la science des matériaux.
Applications générales du vide industriel : Convient aux fours sous vide, aux équipements de revêtement sous vide et à d'autres systèmes industriels à faible vide nécessitant une mesure de pression constante.
Tests de composants aérospatiaux et automobiles : fournit des données de vide fiables pour les tests de performances des composants dans des conditions de basse pression, garantissant ainsi la conformité des produits aux normes industrielles.
FAQ
Le HPM10V peut-il être utilisé avec des gaz industriels corrosifs ?
Oui, il est compatible avec divers gaz compatibles avec l'acier inoxydable 316L , le matériau de contact. Pour les gaz hautement corrosifs, des options de matériaux personnalisés sont disponibles sur demande pour les utilisateurs industriels ayant des besoins spécialisés.
Quelles interfaces de vide le HPM10V prend-il en charge en plus du KF16 ?
En plus de la connexion standard KF16 , il prend en charge les interfaces CF, VCR et autres interfaces standard de l'industrie du vide, avec des options d'interface personnalisées disponibles pour répondre aux exigences spécifiques des équipements industriels.
