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HPM18V CONDITION DE CONDITION DE VIE

La jauge à membrane capacitive HPM18V est une jauge à vide de haute précision pour la mesure du vide moyen et faible, offrant des plages de 0,2 à 100 kPa, une précision jusqu'à ±0,1 % FS et une sortie 4-20 mA, 0-10 VDC ou RS485. Doté d'un capteur capacitif en céramique, il fournit une mesure directe de la pression, non affectée par la composition du gaz, avec une excellente stabilité, une réponse rapide et des performances fiables dans les applications de semi-conducteurs, de laboratoire, d'emballage sous vide et de processus plasma.

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HPM18V Capacitance Vacuum Gauge - V26.1.2.pdf

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Jauge à membrane capacitive HPM18V

Article	Spécification
Nom du produit	Jauge à membrane capacitive HPM18V
Type de produit	Jauge à film capacitif (CDG) / Jauge à vide
Principe de mesure	Principe du film de condensateur
Élément de capteur	Capteur capacitif en céramique
Plage de mesures	0,2 / 0,5 / 1 / 2 / 5 / 10 / 20 / 100kPa
	2/5/10/20/50/100/200/1000 Torrs
	2 / 5 / 10 / 20 / 50 / 100 / 200 / 1000 mbar
Signal de sortie/alimentation	4~20mA / Vs=10~30 VCC
	0~5 VCC / Vs=8,5~30 VCC
	0~10 VCC / Vs=12~30 VCC
	RS485 / Vs=10~30 VCC
Précision	±0,1 % FS (20 kPa, 100 kPa)
	±0,25 % FS (5 kPa, 10 kPa)
	±0,5 % FS (500 Pa, 1 kPa, 2 kPa)
	±1,5 % FS (200 Pa)
Stabilité à long terme	±0,50 %FS/an pour ≤1kPa
Stabilité à long terme	±0,25 % FS/an pour >1 kPa
Température de fonctionnement	-40~125°C
	+125°C maximum. 120 minutes
Température ambiante	-30~85°C
Température de stockage	-30~85°C

Présentation de la jauge à membrane capacitive HPM18V

HPM18V est une jauge à vide capacitive, également appelée jauge à vide capacitive à couche mince (CDG). Ce produit utilise un capteur capacitif en céramique comme élément sensible et mesure directement la pression à l'aide d'une connexion sous vide. Ses signaux de sortie analogiques tels que 0-5 ou 0-10 VDC sont proportionnels à la pression mesurée et ne sont pas affectés par le type et la composition du gaz de procédé. La céramique présente les caractéristiques d'une élasticité élevée, d'une résistance à l'usure, d'une résistance à la corrosion et d'une dissipation thermique rapide, ce qui confère à la jauge à vide une très bonne stabilité thermique et une faible dérive de température.

La jauge à vide capacitive HPM18V a une précision de mesure élevée, une excellente résistance à la surpression et une excellente stabilité à long terme. Son capteur en céramique résistant à la corrosion est compensé en température, présente une large plage de températures de fonctionnement et présente une bonne stabilité du point zéro. La jauge à vide est compacte en taille globale, facile à utiliser et fiable, et convient à la mesure précise du vide moyen et faible avec une composition de gaz complexe.

Application

Application de vide
Laboratoire et recherche et développement
Industrie des semi-conducteurs
Emballage à vide
Équipement de processus de gravure du plasma

Caractéristiques

Principe du film de condensateur
Haute précision et bonne stabilité
Possède une excellente capacité anti-surcharge
La détection n'est pas affectée par le type de gaz et la composition
Réponse rapide et petite hystérésis
Mesure directe de la pression, le signal de sortie analogique est proportionnel à la pression mesurée
Soutenez diverses interfaces de pression KF, CF, VCR, etc. dans l'industrie du vide

Principe de mesure

La jauge à vide capacitive, également appelée jauge à vide à film capacitif, fonctionne sur la base du principe du changement de capacité et se compose d'une partie de détection et d'un circuit de conversion. ~!phoenix_varIMG53!~

L'image ci-dessus est un diagramme schématique de la partie détection. La partie détection comporte deux chambres, la chambre à vide et la chambre de détection. La chambre à vide est une structure entièrement scellée. Après avoir réussi la détection de fuite par le détecteur de fuite du spectromètre de masse à hélium, il est épuisé pendant une longue période, et enfin le tuyau d'échappement est scellé pour maintenir un vide poussé à long terme. La plaque d'électrode fixe se trouve dans la chambre à vide et est sortie de la chambre à vide par le fil conducteur de l'électrode. Le diaphragme de détection est placé entre la chambre à vide poussé et la chambre de détection du système à faible vide à tester. Le diaphragme de détection est une plaque mobile, qui forme avec la plaque fixe un condensateur plat. La faible pression de vide mesurée pénètre dans la chambre de détection par le trou de détection, et le diaphragme de détection dévie, modifiant sa distance par rapport à la plaque fixe, et la valeur de capacité change également en conséquence. Différentes basses pressions de vide déterminent différentes valeurs de capacité.

Le signal de capacité formé par la partie détection est envoyé à la partie conversion de circuit. La partie de conversion de circuit convertit le signal de capacité par transformation, tri, amplification et conversion, et produit enfin un signal de tension ou de courant standard. Ce signal électrique standard est dérivé du signal capacitif et est proportionnel à la pression du vide.

Étiquettes de diagramme schématique

Obtenir
Chambre à vide
Sortie de câble sur plaque
Tube de reniflard
Etanchéité après échappement
Planche fixe
Diaphragme de détection
Chambre de détection
Trou de détection

Matériau de structure

Code de commande	Pièce	Matériaux
S4	Interface de pression	SS304
S6	Interface de pression	SS316L
PE	Interface de pression	COUP D'OEIL
M6	Capteur	Céramique Al2O3 99,9 %
FK	Joint torique	Caoutchouc fluoré FKM
N.-B.	Joint torique	Nitrile NBR

Dessins de structure

Tube OD 1/2'
Tube OD 1/4'
DN 16 ISO-KF
8 magnétoscope, filetage femelle
4 magnétoscopes, filetage mâle et 8 magnétoscopes, filetage mâle
4 magnétoscopes, filetage femelle
M20X1.5

Connexion électrique

Hirschmann/DIN43650 / M12×1-4P / Sortie câble / M12x1-4P avec câble

Sortie de courant à deux fils 4 ~ 20 mA

	Alimentation+ (+V)	Alimentation- (0V/+OUT)	Vide
Hirschmann/DIN43650	1	2	3, 4
Sortie de câble	Red	Noir	-
M12×1	1	2	3,4
M12×1 (avec câble)	Brun	Noir	Bleu, blanc

Sortie de tension à trois fils 0 ~ 5 V/10 V

	Alimentation+(+V)	Masse commune (GND)	Sortie(+OUT)	Vide
Hirschmann/DIN43650	1	2	3	4
Sortie de câble	Red	Noir	Bleu	-
M12×1	1	2	3	4
M12×1 (avec câble)	Brun	Noir	Bleu	Blanc

Modbus-RTU/RS485 à quatre fils

	Alimentation+(+V)	Alimentation-(-V)	RS485A	RS485B
Hirschmann/DIN43650	1	2	3	4
Sortie de câble	Red	Noir	Jaune	Vert
M12×1,4P	1	2	3	4
M12×1 (avec câble)	Brun	Noir	Bleu	Blanc

Description

Paramètres techniques

Jauge à membrane capacitive HPM18V

Article	Spécification
Nom du produit	Jauge à membrane capacitive HPM18V
Type de produit	Jauge à film capacitif (CDG) / Jauge à vide
Principe de mesure	Principe du film de condensateur
Élément de capteur	Capteur capacitif en céramique
Plage de mesures	0,2 / 0,5 / 1 / 2 / 5 / 10 / 20 / 100kPa
	2/5/10/20/50/100/200/1000 Torrs
	2 / 5 / 10 / 20 / 50 / 100 / 200 / 1000 mbar
Signal de sortie/alimentation	4~20mA / Vs=10~30 VCC
	0~5 VCC / Vs=8,5~30 VCC
	0~10 VCC / Vs=12~30 VCC
	RS485 / Vs=10~30 VCC
Précision	±0,1 % FS (20 kPa, 100 kPa)
	±0,25 % FS (5 kPa, 10 kPa)
	±0,5 % FS (500 Pa, 1 kPa, 2 kPa)
	±1,5 % FS (200 Pa)
Stabilité à long terme	±0,50 %FS/an pour ≤1kPa
Stabilité à long terme	±0,25 % FS/an pour >1 kPa
Température de fonctionnement	-40~125°C
	+125°C maximum. 120 minutes
Température ambiante	-30~85°C
Température de stockage	-30~85°C

Présentation de la jauge à membrane capacitive HPM18V

HPM18V est une jauge à vide capacitive, également appelée jauge à vide capacitive à couche mince (CDG). Ce produit utilise un capteur capacitif en céramique comme élément sensible et mesure directement la pression à l'aide d'une connexion sous vide. Ses signaux de sortie analogiques tels que 0-5 ou 0-10 VDC sont proportionnels à la pression mesurée et ne sont pas affectés par le type et la composition du gaz de procédé. La céramique présente les caractéristiques d'une élasticité élevée, d'une résistance à l'usure, d'une résistance à la corrosion et d'une dissipation thermique rapide, ce qui confère à la jauge à vide une très bonne stabilité thermique et une faible dérive de température.

La jauge à vide capacitive HPM18V a une précision de mesure élevée, une excellente résistance à la surpression et une excellente stabilité à long terme. Son capteur en céramique résistant à la corrosion est compensé en température, présente une large plage de températures de fonctionnement et présente une bonne stabilité du point zéro. La jauge à vide est compacte en taille globale, facile à utiliser et fiable, et convient à la mesure précise du vide moyen et faible avec une composition de gaz complexe.

Application

Application de vide
Laboratoire et recherche et développement
Industrie des semi-conducteurs
Emballage à vide
Équipement de processus de gravure du plasma

Caractéristiques

Principe du film de condensateur
Haute précision et bonne stabilité
Possède une excellente capacité anti-surcharge
La détection n'est pas affectée par le type de gaz et la composition
Réponse rapide et petite hystérésis
Mesure directe de la pression, le signal de sortie analogique est proportionnel à la pression mesurée
Soutenez diverses interfaces de pression KF, CF, VCR, etc. dans l'industrie du vide

Principe de mesure

La jauge à vide capacitive, également appelée jauge à vide à film capacitif, fonctionne sur la base du principe du changement de capacité et se compose d'une partie de détection et d'un circuit de conversion. ~!phoenix_varIMG53!~

L'image ci-dessus est un diagramme schématique de la partie détection. La partie détection comporte deux chambres, la chambre à vide et la chambre de détection. La chambre à vide est une structure entièrement scellée. Après avoir réussi la détection de fuite par le détecteur de fuite du spectromètre de masse à hélium, il est épuisé pendant une longue période, et enfin le tuyau d'échappement est scellé pour maintenir un vide poussé à long terme. La plaque d'électrode fixe se trouve dans la chambre à vide et est sortie de la chambre à vide par le fil conducteur de l'électrode. Le diaphragme de détection est placé entre la chambre à vide poussé et la chambre de détection du système à faible vide à tester. Le diaphragme de détection est une plaque mobile, qui forme avec la plaque fixe un condensateur plat. La faible pression de vide mesurée pénètre dans la chambre de détection par le trou de détection, et le diaphragme de détection dévie, modifiant sa distance par rapport à la plaque fixe, et la valeur de capacité change également en conséquence. Différentes basses pressions de vide déterminent différentes valeurs de capacité.

Le signal de capacité formé par la partie détection est envoyé à la partie conversion de circuit. La partie de conversion de circuit convertit le signal de capacité par transformation, tri, amplification et conversion, et produit enfin un signal de tension ou de courant standard. Ce signal électrique standard est dérivé du signal capacitif et est proportionnel à la pression du vide.

Étiquettes de diagramme schématique

Obtenir
Chambre à vide
Sortie de câble sur plaque
Tube de reniflard
Etanchéité après échappement
Planche fixe
Diaphragme de détection
Chambre de détection
Trou de détection

Matériau de structure

Code de commande	Pièce	Matériaux
S4	Interface de pression	SS304
S6	Interface de pression	SS316L
PE	Interface de pression	COUP D'OEIL
M6	Capteur	Céramique Al2O3 99,9 %
FK	Joint torique	Caoutchouc fluoré FKM
N.-B.	Joint torique	Nitrile NBR

Dessins de structure

Tube OD 1/2'
Tube OD 1/4'
DN 16 ISO-KF
8 magnétoscope, filetage femelle
4 magnétoscopes, filetage mâle et 8 magnétoscopes, filetage mâle
4 magnétoscopes, filetage femelle
M20X1.5

Connexion électrique

Hirschmann/DIN43650 / M12×1-4P / Sortie câble / M12x1-4P avec câble

Sortie de courant à deux fils 4 ~ 20 mA

	Alimentation+ (+V)	Alimentation- (0V/+OUT)	Vide
Hirschmann/DIN43650	1	2	3, 4
Sortie de câble	Red	Noir	-
M12×1	1	2	3,4
M12×1 (avec câble)	Brun	Noir	Bleu, blanc

Sortie de tension à trois fils 0 ~ 5 V/10 V

	Alimentation+(+V)	Masse commune (GND)	Sortie(+OUT)	Vide
Hirschmann/DIN43650	1	2	3	4
Sortie de câble	Red	Noir	Bleu	-
M12×1	1	2	3	4
M12×1 (avec câble)	Brun	Noir	Bleu	Blanc

Modbus-RTU/RS485 à quatre fils

	Alimentation+(+V)	Alimentation-(-V)	RS485A	RS485B
Hirschmann/DIN43650	1	2	3	4
Sortie de câble	Red	Noir	Jaune	Vert
M12×1,4P	1	2	3	4
M12×1 (avec câble)	Brun	Noir	Bleu	Blanc

Plage de mesures
Absolu (kPa)	Pression nominale		0.2	0.5	1	2	5	10	20	100
	Surcharge		350	350	350	350	400	400	600	1000
Absolu (Torr)	Pression nominale		2	5	10	20	50	100	200	1000
	Surcharge		2600	2600	2600	2600	3000	3000	4500	7500
Absolu (mbar)	Pression nominale		2	5	10	20	50	100	200	1000
	Surcharge		3500	3500	3500	3500	4000	4000	6000	10000
Remarque : Pour d'autres plages de mesure, veuillez nous contacter.
Milieu de mesure
Taper		Divers gaz compatibles avec les matériaux de contact
Signal de sortie / alimentation
Standard			4 ~ 20 mA / Vs = 10 ~ 30 V _DC(si doté d'un écran, Vs = 13 ~ 30 V _DC)
Standard			0~5 VCC /Vs=10~30 _VCC
Standard			0 ~ 10vdc / vs = 12 ~ 30 V _CC
Standard			RS485 /Vs=8~30 _VCC
Performance
Précision			±0,1 % FS (20 kPa, 100 kPa) ±0,25 % FS (5 kPa, 10 kPa) ±0,5 % FS (500 Pa, 1 kPa, 2 KPa) ±1,5 % FS (200 Pa)
Stabilité à long terme			±0,50 %FS/an, ≤1kPa ±0,25 %FS/an, >1kPa
* La précision est conforme à la CEI 60770 (non-linéarité, hystérésis, répétabilité)
Conditions environnementales
Plage de température			Température de fonctionnement : -40~125℃ (max 120min à +125°C) Température ambiante: -30 ~ 85 ℃ Température de stockage: -30 ~ 85 ℃
Grade de protection			IP65, DIN43650/Hirschmann (C1) IP66, Sortie de câble (C2), M12×1 (C5), M12×1 avec câble (C5X) IP68, Sortie de câble (C2P)
Dérive de température
Température de compensation			-20 ~ 80 ℃
Dérive de température de zéro point			± 1,5 % FS (dans la température de compensation)
Dérive de température à pleine échelle			± 1,5 % FS (dans la température de compensation)