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HPM18V CONDITION DE CONDITION DE VIE

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Quantité:
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Aperçu

Le HPM18V est une jauge de vide avancée, également connue sous le nom de jauge de film capacitive (CDG), conçue pour une mesure précise de la pression dans diverses applications. Ce produit innovant utilise un capteur capacitif en céramique comme élément sensible, garantissant des lectures de pression directes et précises via une connexion sous vide.

  • Signaux de sortie analogique: le HPM18V fournit des options de sortie analogiques telles que 0-5V ou 0-10V DC, qui sont directement proportionnelles à la pression mesurée. Cette sortie est stable et non affectée par le type ou la composition du gaz de processus, garantissant des données fiables dans différents environnements.

  • Construction durable: Le capteur en céramique offre des caractéristiques exceptionnelles, notamment une élasticité élevée, une résistance à l'usure et une résistance à la corrosion. Ces propriétés contribuent à la longue durée de vie et à la fiabilité de la jauge dans des conditions exigeantes.

  • Stabilité thermique: La conception du HPM18V assure une excellente stabilité thermique et une dérive de température minimale, permettant des performances cohérentes même dans des conditions de température variables.

Application

  • Application de vide

  • Laboratoire et recherche et développement

  • Industrie des semi-conducteurs

  • Emballage à vide

  • Équipement de processus de gravure du plasma

Caractéristiques

  • Principe du film de condensateur

  • Haute précision et bonne stabilité

  • A une bonne capacité anti-surcharge

  • La détection n'est pas affectée par le type de gaz et la composition

  • Réponse rapide et petite hystérésis

  • Dans la mesure directe de la pression, le signal de sortie analogique est proportionnel à la pression mesurée

  • Soutenez diverses interfaces de pression, KF, CF, VCR, etc. dans l'industrie du vide



Plage de mesures

Absolu

(kPa)

Pression nominale

0.2

0.5

1

2

5

10

20

100

Surcharge

350

350

350

350

400

400

600

1000

Absolu

(Torr)

Pression nominale

2

5

10

20

50

100

200

1000

Surcharge

2600

2600

2600

2600

3000

3000

4500

7500

Absolu

(mbar)

Pression nominale

2

5

10

20

50

100

200

1000

Surcharge

3500

3500

3500

3500

4000

4000

6000

10000

Remarque : Pour d'autres plages de mesure, veuillez nous contacter.

Milieu de mesure

Taper

Divers gaz compatibles avec les matériaux de contact

Signal de sortie / alimentation

Standard

4 ~ 20 mA      / Vs = 10 ~ 30 V DC (si doté d'un écran, Vs = 13 ~ 30 V DC )

Standard

0~5 VCC      /Vs=10~30 VCC

Standard

0 ~ 10vdc    / vs = 12 ~ 30 V CC

Standard

RS485       /Vs=8~30 VCC

Performance

Précision

±0,1 % FS (20 kPa, 100 kPa)

±0,25 % FS (5 kPa, 10 kPa)

±0,5 % FS (500 Pa, 1 kPa, 2 KPa)

±1,5 % FS (200 Pa)

Stabilité à long terme

±0,50 %FS/an, ≤1kPa

±0,25 %FS/an, >1kPa

* La précision est conforme à la CEI 60770 (non-linéarité, hystérésis, répétabilité)

Conditions environnementales

Plage de température

Température de fonctionnement : -40~125℃ (max 120min à +125°C)

Température ambiante: -30 ~ 85 ℃

Température de stockage: -30 ~ 85 ℃

Grade de protection

IP65, DIN43650/Hirschmann (C1)

IP66, Sortie de câble (C2), M12×1 (C5), M12×1 avec câble (C5X)

IP68, Sortie de câble (C2P)

Dérive de température


Température de compensation

-20 ~ 80 ℃

Dérive de température de zéro point

± 1,5 % FS (dans la température de compensation)

Dérive de température à pleine échelle

± 1,5 % FS (dans la température de compensation)


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