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Transmetteur de pression à vide absolu, capacité HPM18LV 0-10V, connecteur KF, CF et VCR

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HPM18LV est une jauge à vide capacitive, également connue sous le nom de jauge à vide capacitive à couche mince (CDG). Ce produit utilise un capteur capacitif en céramique comme élément de détection et mesure directement la pression via une connexion sous vide. Son signal de sortie analogique 0-10 VCC est proportionnel à la pression mesurée et n'est pas affecté par le type et la composition du gaz de procédé. Les matériaux céramiques possèdent une élasticité élevée, une résistance à l'usure, une résistance à la corrosion et une dissipation thermique rapide, donnant à cette jauge à vide une excellente stabilité thermique et une faible dérive de température.

Application

Application de vide
Laboratoire et recherche et développement+
Industrie des semi-conducteurs
Emballage à vide
Équipement de processus de gravure du plasma

Caractéristiques

Principe capacitif des couches minces
Haute précision et bonne stabilité
Excellente résistance aux surcharges
La détection n'est pas affectée par le type et la composition du gaz
Réponse rapide et faible hystérésis
Mesure directe de la pression : le signal de sortie analogique est proportionnel à la pression mesurée
Prend en charge diverses interfaces de pression dans l'industrie du vide, telles que KF, CF et VCR

Description

Paramètres techniques

Aperçu

HPM18LV est une jauge à vide capacitive, également connue sous le nom de jauge à vide capacitive à couche mince (CDG). Ce produit utilise un capteur capacitif en céramique comme élément de détection et mesure directement la pression via une connexion sous vide. Son signal de sortie analogique 0-10 VCC est proportionnel à la pression mesurée et n'est pas affecté par le type et la composition du gaz de procédé. Les matériaux céramiques possèdent une élasticité élevée, une résistance à l'usure, une résistance à la corrosion et une dissipation thermique rapide, donnant à cette jauge à vide une excellente stabilité thermique et une faible dérive de température.

Application

Application de vide
Laboratoire et recherche et développement+
Industrie des semi-conducteurs
Emballage à vide
Équipement de processus de gravure du plasma

Caractéristiques

Principe capacitif des couches minces
Haute précision et bonne stabilité
Excellente résistance aux surcharges
La détection n'est pas affectée par le type et la composition du gaz
Réponse rapide et faible hystérésis
Mesure directe de la pression : le signal de sortie analogique est proportionnel à la pression mesurée
Prend en charge diverses interfaces de pression dans l'industrie du vide, telles que KF, CF et VCR

Plage de mesures
Absolu (kPa)	Pression nominale	0.2	0.5	1	2	5	10	20	100
	Surcharge	350	350	350	350	400	400	600	1000
Absolu (Torr)	Pression nominale	2	5	10	20	50	100	200	1000
	Surcharge	2600	2600	2600	2600	3000	3000	4500	7500
Absolu (mbar)	Pression nominale	2	5	10	20	50	100	200	1000
	Surcharge	3500	3500	3500	3500	4000	4000	6000	10000
Remarque: Pour les autres gammes de mesures, veuillez nous contacter.
Milieu de mesure
Taper		Divers gaz compatibles avec les matériaux de contact
Signal de sortie / alimentation
Standard		0 ~ 10vdc / vs = 12 ~ 30 V _CC
Performance
Précision		±0,1 % FS (20 kPa, 100 kPa) ±0,25 % FS (5 kPa, 10 kPa) ±0,5 % FS (500 Pa, 1 kPa, 2 KPa) ±1,5 % FS (200 Pa)
Stabilité à long terme		±0,50 %FS/an, ≤1kPa ±0,25 %FS/an, >1kPa
* La précision est conforme à la CEI 60770 (non-linéarité, hystérésis, répétabilité)
Conditions environnementales
Plage de température		Température de fonctionnement : -40~125℃ (max 120min à +125°C) Température ambiante: -30 ~ 85 ℃ Température de stockage: -30 ~ 85 ℃
Grade de protection		IP40
Dérive de température
Température de compensation		-20 ~ 80 ℃
Dérive de température du point zéro		± 1,5 % FS (dans la température de compensation)
Dérive de température à pleine échelle		± 1,5 % FS (dans la température de compensation)
Protection électrique
Protection de court-circuit		Soutien
Protection de polarité inversée		Aucun dommage, le circuit ne fonctionne pas
Stabilité mécanique
Vibration		20g (20 ~ 5000 Hz)
Résistance à l'impact		50g(11ms)
Isolation
Résistance à l'isolation		>200 MΩ à 500 V CC
Résistance diélectrique		<2mA 500VAC 1min