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HPM10V rentable de 0 à 200 kpa émetteur de pression absolue KF16

État de disponibilité:
Quantité:
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HPM10V est une jauge à vide piézorésistive. Il utilise un capteur piézorésistance en silicium comme élément sensible et mesure directement la pression à l'aide d'une connexion à vide. Ses signaux de sortie analogique tels que 0-5 ou 0-10 VDC sont proportionnels à la pression mesurés et ne sont pas affectés par le type et la composition du gaz de processus. La puce de silicium diffuse à l'intérieur du capteur est encapsulée par un diaphragme et une cavité en acier inoxydable et une cavité. Une carte de circuit imprimé spécialement développée assure des performances stables et fiables et une apparence compacte. La jauge sous vide piézorésistive HPM10V a une précision de mesure élevée et une excellente stabilité à long terme. Le capteur piézorésistif de silicium de haute qualité interne est  compensé par la température et a une large plage de température de fonctionnement. La jauge à vide est petite de taille globale, facile à utiliser et fiable, et convient à une faible mesure de précision de vide des compositions de gaz complexes.




Application


  • Application de vide

  • Laboratoire et recherche et développement

  • Industrie des semi-conducteurs

  • Emballage à vide

  • Équipement de processus de gravure du plasma


Caractéristiques


  • Principe piézorésistif au silicium

  • Haute précision et bonne stabilité

  • La détection n'est pas affectée par le type de gaz et la composition

  • Réponse rapide et faible hystérésis

  • Mesure directe de la pression, le signal de sortie analogique est proportionnel à la pression mesurée

  • Suupport diverses interfaces de pression KF, CF, VCR, etc. dans l'industrie du vide


Paramètres techniques


Plage de mesures

Absolu (kpa)

Pression nominale

0.2

0.5

1

2

5

10

20

100

Surcharge

200

200

200

200

400

400

600

1000

Absolu (torr)

Pression nominale

2

5

10

20

50

100

200

1000

Surcharge

2000

2000

2000

2000

4000

4000

6000

10000

Absolu (Mbar)

Pression nominale

2

5

10

20

50

100

200

1000

Surcharge

2000

2000

2000

2000

4000

4000

6000

10000

Remarque: Pour les autres gammes de mesures, veuillez nous contacter.

Milieu de mesure

Taper

Divers gaz compatibles avec les matériaux de contact

Signal de sortie / alimentation

Standard

4 ~ 20mA      / VS = 10 ~ 30 V CC

Standard

0 ~ 5VDC      /VS=8.5~30 V DC

Standard

0 ~ 10vdc    / vs = 12 ~ 30 V CC

Standard

RS485       / VS = 10 ~ 30 V CC

Performance

Précision

± 0,25% FS (typique)

± 0,1% FS (facultatif) * uniquement pour la plage p ≥35 kpaa

Stabilité à long terme

± 0,30% FS / an, ≤35kpa

± 0,20% FS / an,> 35 kpa

* La précision est conforme à la CEI 60770 (non-linéarité, hystérésis, répétabilité)

Conditions environnementales

Plage de température

Température de travail: -40 ~ 100 ℃

Température ambiante: -30 ~ 85 ℃

Température de stockage: -30 ~ 85 ℃

Grade de protection

IP65

Dérive de température


Température de compensation

0 ~ 70 ℃, ≤35kpa;  -10 ~ 80 ℃,> 35kpa

Dérive de température de zéro point

± 1,0% FS (dans la température de compensation)

Dérive de température à pleine échelle

± 1,0% FS (dans la température de compensation)



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Catégorie de produit

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