État de disponibilité: | |
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Quantité: | |
Aperçu
HPM18V est une jauge à vide avec un protecteur de diaphragme, également appelé jauge de film capacitive (CDG). Ce produit utilise un capteur capacitif en céramique comme élément sensible et utilise une connexion à l'aspiration pour mesurer directement la pression. Ses signaux de sortie analogique tels que 0-5 ou 0-10VDC sont proportionnels à la pression mesurés et ne sont pas affectés par le type et la composition du gaz de processus. La céramique a les caractéristiques de l'élasticité élevée, de la résistance à l'usure, de la résistance à la corrosion et de la dissipation de chaleur rapide, ce qui fait que la jauge de vide a une très bonne stabilité thermique et une dérive à basse température.
Application
Application de vide
Laboratoire et recherche et développement
Industrie des semi-conducteurs
Emballage à vide
Équipement de processus de gravure du plasma
Caractéristiques
Principe du film de condensateur
Haute précision et bonne stabilité
A une bonne capacité anti-surcharge
La détection n'est pas affectée par le type de gaz et la composition
Réponse rapide et petite hystérésis
Mesure directe de la pression, le signal de sortie analogique est proportionnel à la pression mesurée
Soutenez diverses interfaces de pression KF, CF, VCR, etc. dans l'industrie du vide
Aperçu
HPM18V est une jauge à vide avec un protecteur de diaphragme, également appelé jauge de film capacitive (CDG). Ce produit utilise un capteur capacitif en céramique comme élément sensible et utilise une connexion à l'aspiration pour mesurer directement la pression. Ses signaux de sortie analogique tels que 0-5 ou 0-10VDC sont proportionnels à la pression mesurés et ne sont pas affectés par le type et la composition du gaz de processus. La céramique a les caractéristiques de l'élasticité élevée, de la résistance à l'usure, de la résistance à la corrosion et de la dissipation de chaleur rapide, ce qui fait que la jauge de vide a une très bonne stabilité thermique et une dérive à basse température.
Application
Application de vide
Laboratoire et recherche et développement
Industrie des semi-conducteurs
Emballage à vide
Équipement de processus de gravure du plasma
Caractéristiques
Principe du film de condensateur
Haute précision et bonne stabilité
A une bonne capacité anti-surcharge
La détection n'est pas affectée par le type de gaz et la composition
Réponse rapide et petite hystérésis
Mesure directe de la pression, le signal de sortie analogique est proportionnel à la pression mesurée
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Plage de pression | 0 ~ 2TORR… 1000TORR | ||||||||
Milieu de mesure | Divers gaz compatibles avec les matériaux de contact | ||||||||
Plage de pression | 0 ~ 2TORR… 1000TORR | ||||||||
Précision | ± 0,1% FS, ± 0,25% FS, ± 0,5% FS (sous réserve de la plage de mesure) | ||||||||
Température de travail | -40 ~ 85 ℃ | ||||||||
Tension d'alimentation | 10 ~ 30VDC; 8,5 ~ 30 VDC; 12 ~ 30VDC; 10 ~ 30VDC (sous réserve de sortie) | ||||||||
Signal de sortie | 4 ~ 20madc, tension, RS485 |
Plage de pression | 0 ~ 2TORR… 1000TORR | ||||||||
Milieu de mesure | Divers gaz compatibles avec les matériaux de contact | ||||||||
Plage de pression | 0 ~ 2TORR… 1000TORR | ||||||||
Précision | ± 0,1% FS, ± 0,25% FS, ± 0,5% FS (sous réserve de la plage de mesure) | ||||||||
Température de travail | -40 ~ 85 ℃ | ||||||||
Tension d'alimentation | 10 ~ 30VDC; 8,5 ~ 30 VDC; 12 ~ 30VDC; 10 ~ 30VDC (sous réserve de sortie) | ||||||||
Signal de sortie | 4 ~ 20madc, tension, RS485 |
Aperçu
HPM18V est une jauge à vide avec un protecteur de diaphragme, également appelé jauge de film capacitive (CDG). Ce produit utilise un capteur capacitif en céramique comme élément sensible et utilise une connexion à l'aspiration pour mesurer directement la pression. Ses signaux de sortie analogique tels que 0-5 ou 0-10VDC sont proportionnels à la pression mesurés et ne sont pas affectés par le type et la composition du gaz de processus. La céramique a les caractéristiques de l'élasticité élevée, de la résistance à l'usure, de la résistance à la corrosion et de la dissipation de chaleur rapide, ce qui fait que la jauge de vide a une très bonne stabilité thermique et une dérive à basse température.
Application
Application de vide
Laboratoire et recherche et développement
Industrie des semi-conducteurs
Emballage à vide
Équipement de processus de gravure du plasma
Caractéristiques
Principe du film de condensateur
Haute précision et bonne stabilité
A une bonne capacité anti-surcharge
La détection n'est pas affectée par le type de gaz et la composition
Réponse rapide et petite hystérésis
Mesure directe de la pression, le signal de sortie analogique est proportionnel à la pression mesurée
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Plage de pression | 0 ~ 2TORR… 1000TORR | ||||||||
Milieu de mesure | Divers gaz compatibles avec les matériaux de contact | ||||||||
Plage de pression | 0 ~ 2TORR… 1000TORR | ||||||||
Précision | ± 0,1% FS, ± 0,25% FS, ± 0,5% FS (sous réserve de la plage de mesure) | ||||||||
Température de travail | -40 ~ 85 ℃ | ||||||||
Tension d'alimentation | 10 ~ 30VDC; 8,5 ~ 30 VDC; 12 ~ 30VDC; 10 ~ 30VDC (sous réserve de sortie) | ||||||||
Signal de sortie | 4 ~ 20madc, tension, RS485 |