HPM18V CAPACITANCE PAUTERA

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Aperçu

HPM18V est une jauge à vide avec un protecteur de diaphragme, également appelé jauge de film capacitive (CDG). Ce produit utilise un capteur capacitif en céramique comme élément sensible et utilise une connexion à l'aspiration pour mesurer directement la pression. Ses signaux de sortie analogique tels que 0-5 ou 0-10VDC sont proportionnels à la pression mesurés et ne sont pas affectés par le type et la composition du gaz de processus. La céramique a les caractéristiques de l'élasticité élevée, de la résistance à l'usure, de la résistance à la corrosion et de la dissipation de chaleur rapide, ce qui fait que la jauge de vide a une très bonne stabilité thermique et   une dérive à basse température.

Application

  • Application de vide

  • Laboratoire et recherche et développement

  • Industrie des semi-conducteurs

  • Emballage à vide

  • Équipement de processus de gravure du plasma

Caractéristiques

  • Principe du film de condensateur

  • Haute précision et bonne stabilité

  • A une bonne capacité anti-surcharge

  • La détection n'est pas affectée par le type de gaz et la composition

  • Réponse rapide et petite hystérésis

  • Mesure directe de la pression, le signal de sortie analogique est proportionnel à la pression mesurée

  • Soutenez diverses interfaces de pression KF, CF, VCR, etc. dans l'industrie du vide



Plage de pression

0 ~ 2TORR… 1000TORR

Milieu de mesure

Divers gaz compatibles avec les matériaux de contact

Plage de pression

0 ~ 2TORR… 1000TORR

Précision

± 0,1% FS, ± 0,25% FS, ± 0,5% FS (sous réserve de la plage de mesure)

Température de travail

-40 ~ 85 ℃

Tension d'alimentation

10 ~ 30VDC; 8,5 ~ 30 VDC; 12 ~ 30VDC; 10 ~ 30VDC (sous réserve de sortie)

Signal de sortie

4 ~ 20madc, tension, RS485



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