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Jauge à vide de capacité de haute précision HPM18V, avec protecteur de diaphragme, transmetteur de pression absolue

État de disponibilité:
Quantité:
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HPM18V est une jauge à vide avec un protecteur de diaphragme, également appelé jauge de film capacitive (CDG). Ce produit utilise un capteur capacitif en céramique comme élément sensible et utilise une connexion à l'aspiration pour mesurer directement la pression. Ses signaux de sortie analogique tels que 0-5 ou 0-10VDC sont proportionnels à la pression mesurés et ne sont pas affectés par le type et la composition du gaz de processus. La céramique a les caractéristiques de l'élasticité élevée, de la résistance à l'usure, de la résistance à la corrosion et de la dissipation de chaleur rapide, ce qui fait que la jauge de vide a une très bonne stabilité thermique et   une dérive à basse température.



Application


  • Application sous vide

  • Laboratoire et recherche et développement

  • Industrie des semi-conducteurs

  • Emballage sous vide

  • Équipement de processus de gravure au plasma


Caractéristiques


  • Principe du film condensateur
  • Haute précision et bonne stabilité
  • Possède une excellente capacité anti-surcharge
  • La détection n'est pas affectée par le type et la composition du gaz
  • Réponse rapide et petite hystérésis
  • Mesure directe de la pression, le signal de sortie analogique est proportionnel à la pression mesurée
  • Prend en charge diverses interfaces de pression KF, CF, VCR, etc. dans l'industrie du vide


Paramètres techniques


Plage de mesure

Absolu(kPa)

Pression nominale

0.2

0.5

1

2

5

10

20

100

Surcharge

200

200

200

200

400

400

600

1000

Absolu(Torr)

Pression nominale

2

5

10

20

50

100

200

1000

Surcharge

2000

2000

2000

2000

4000

4000

6000

10000

Absolu(mbar)

Pression nominale

2

5

10

20

50

100

200

1000

Surcharge

2000

2000

2000

2000

4000

4000

6000

10000

Remarque : Pour d'autres plages de mesure, veuillez nous contacter.


Milieu de mesure

Divers gaz compatibles avec les matériaux de contact

Plage de pression

0~2Torr…1000Torr

Précision

±0,1%FS,±0,25%FS,±0,5%FS (sous réserve de la plage de mesure)

Température de fonctionnement

-40 ~ 85 ℃

Tension d'alimentation

10 ~ 30 V CC

8,5 ~ 30 VCC

12 ~ 30 V CC

10 ~ 30 V CC

(sous réserve de sortie)

Signal de sortie

4 ~ 20 mADC, tension, RS485


Notre philosophie de produit est la spécialisation, la personnalisation et l'intelligence.

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