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Jauge à vide de capacité de haute précision HPM18V, avec protecteur de diaphragme, transmetteur de pression absolue

Jauge à vide de capacité de haute précision HPM18V, avec protecteur de diaphragme, transmetteur de pression absolue

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HPM18V est une jauge à vide avec protecteur de diaphragme, également appelée jauge à film capacitif (CDG). Ce produit utilise un capteur capacitif en céramique comme élément sensible et utilise une connexion sous vide pour mesurer directement la pression. Ses signaux de sortie analogiques tels que 0-5 ou 0-10VDC sont proportionnels à la pression mesurée et ne sont pas affectés par le type et la composition du gaz de procédé. La céramique a les caractéristiques d'une élasticité élevée, d'une résistance à l'usure, d'une résistance à la corrosion et d'une dissipation thermique rapide, ce qui confère à la jauge à vide une très bonne stabilité thermique et une dérive de température extrêmement faible.

Description du produit

Application

Caractéristiques

Paramètres techniques

HPM18V est une jauge à vide avec protecteur de diaphragme, également appelée jauge à film capacitif (CDG). Ce produit utilise un capteur capacitif en céramique comme élément sensible et utilise une connexion sous vide pour mesurer directement la pression. Ses signaux de sortie analogiques tels que 0-5 ou 0-10VDC sont proportionnels à la pression mesurée et ne sont pas affectés par le type et la composition du gaz de procédé. La céramique a les caractéristiques d'une élasticité élevée, d'une résistance à l'usure, d'une résistance à la corrosion et d'une dissipation thermique rapide, ce qui confère à la jauge à vide une très bonne stabilité thermique et une dérive de température extrêmement faible.

Application

Application sous vide
Laboratoire et recherche et développement
Industrie des semi-conducteurs
Emballage sous vide
Équipement de processus de gravure au plasma

Caractéristiques

Principe du film condensateur
Haute précision et bonne stabilité
Possède une excellente capacité anti-surcharge
La détection n'est pas affectée par le type et la composition du gaz
Réponse rapide et petite hystérésis
Mesure directe de la pression, le signal de sortie analogique est proportionnel à la pression mesurée

Prend en charge diverses interfaces de pression KF, CF, VCR, etc. dans l'industrie du vide

Paramètres techniques

Plage de mesure
Absolu（kPa）	Pression nominale	0.2	0.5	1	2	5	10	20	100
Absolu（kPa）	Surcharge	200	200	200	200	400	400	600	1000
Absolu（Torr）	Pression nominale	2	5	10	20	50	100	200	1000
Absolu（Torr）	Surcharge	2000	2000	2000	2000	4000	4000	6000	10000
Absolu（mbar）	Pression nominale	2	5	10	20	50	100	200	1000
Absolu（mbar）	Surcharge	2000	2000	2000	2000	4000	4000	6000	10000
Remarque : Pour d'autres plages de mesure, veuillez nous contacter.

Milieu de mesure	Divers gaz compatibles avec les matériaux de contact
Plage de pression	0～2Torr…1000Torr
Précision	±0,1%FS,±0,25%FS,±0,5%FS (sous réserve de la plage de mesure)
Température de fonctionnement	-40 ~ 85 ℃
Tension d'alimentation	10 ~ 30 V CC 8,5 ~ 30 VCC 12 ~ 30 V CC 10 ~ 30 V CC (sous réserve de sortie)
Signal de sortie	4 ~ 20 mADC, tension, RS485